製品 & サービス SB3050-2 光リソグラフィシステム
SB3050-2 光リソグラフィシステム
| Vistec SB3050-2は、可変成形ビーム（VSB）技術を搭載した当社最先端の電子ビーム描画装置で、最大300 mmのマスクまたはウエハ基板全面への描画が可能です。 |
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