DaVinci計測システムの第5世代ツールは、28nmノード技術領域まで対応した高速処理のオーバーレイ計測専用機として開発されました。新しいステージハードウェアと最適化されたアルゴリズムにより、G5システムは高精度位置決めと高スループットを実現し、新しいナノメートル構造ウェハ計測における最先端技術となっています。