MT3000+はMueTecが開発した、既存市場に多く実績のあるMT3000計測システムの次世代モデルです。MT3000は、オーバーレイとCDにおける測定精度の向上と高スループットを実現する用途向けのシステムです。新しい高速ステージと高精度ピエゾZ軸駆動により、既存の計測システムよりも高い性能とスループットを実現しています。MT3000は、高い柔軟性と完全自動化された操作が求められる生産環境向けに設計されています。