最大300㎜ウェハまで対応の高スループットウェハ欠陥検査システム。自動かつ完全密閉型。表面と裏面を同時に検査できるため、大量生産環境に最適です。高スループット、完全自動基板ローディング、シンプルな操作性を実現するよう最適化されています。レシピ不要の操作により、層ごとのレシピを作成することなく、さまざまなプロセス層の欠陥を自動的にスキャンし検出できます。