自動式で完全密閉型の150㎜および200㎜高スループットウェハ欠陥検査システム。表面と裏面を同時に検査できるため、大量生産環境に最適です。高スループット、省スペース、シンプルな操作性を実現するよう最適化されています。レシピ不要の操作により、レイヤーごとのレシピを作成することなく、さまざまなプロセスレイヤー上の欠陥を自動的にスキャンして検出できます。