ロボットによるフォトマスク搬送機能を備えた、自動かつ完全密閉型のマスク欠陥検査システム。最大2つのポッドまたはカセットステーションに対応。Die to Die方式による自動検査で統計的な不良を検出し、フォトマスクが良品か、洗浄が必要か、交換が必要かを自動的に判定します。最大21インチのフォトマスクサイズまで対応可能です。