テストウェーハは半導体製造に不可欠であり、装置の認定やプロセスのモニタリングにおいて極めて重要な役割を果たします。これらはファブのウェーハ在庫の最大50％を占めています。テストウェーハのロットを手作業で管理するのは時間がかかり、ミスも発生しやすくなります。

テストウェーハセンター（TWC）は、テストウェーハロットのキッティングおよびデキッティング、ならびに保管を完全に自動化します。コンパクトで柔軟性の高いレイアウトにより、最大93個の保管ビンと最大14箇所のマテリアルハンドリング位置を確保でき、複雑な装置認定シナリオに最適なソリューションとなります。各テストウェーハロットのタイミングや内容を決定するための完全な（遠隔）制御が可能であり、プロセス装置へのジャストインタイムでの供給を実現します。

SECSホスト通信、カメラベースのロボット経路制御、オプションのウェーハ位置合わせ・識別機能、およびさまざまなキャリア識別オプションを備えたTWCは、安全かつ正確で、完全にトレーサビリティを確保した材料管理を実現します。

あらゆる自動材料搬送システム（コンベアまたは車両ベース）への接続に加え、手動によるキャリアの入出庫も可能であり、お客様のファブとの統合はシームレスかつ迅速に行えます。