半導体製造において、自動化は信頼性の高いデジタル識別から始まります。キャリアへのタグ付けや装置間通信の実現といった小さなステップであっても、トレーサビリティと可視性を大幅に向上させ、ヒューマンエラーを削減するとともに、より高度な物流管理や拡張性のあるプロセス自動化の基盤を構築することができます。しかし、多くの半導体工場では依然として手作業や紙ベースの管理が行われており、さらなる進化の妨げとなっています。

そこでFabmaticsがお役に立ちます。20年以上にわたる業界経験を活かし、お客様の工場のインフラ、目標、そして導入ペースに最適なRFIDソリューションをご提案し、自動化への第一歩をサポートします。

既存工場のレトロフィット（改修）から新規工場の立ち上げまで、FabmaticsのRFIDシステムは拡張性に優れ、SEMI規格に準拠しており、既存の製造環境へスムーズに統合できるよう設計されています。

• レトロフィット（既存設備への後付け）対応

• クリーンルーム向けLF（低周波）およびHF（高周波）RFIDハードウェア

• FOUP、SMIFポッド、HA200ボックス、オープンカセット、レチクルキャリア向けに最適化

• MES（製造実行システム）および工場インフラとの完全統合

テストウェーハは半導体製造に不可欠であり、装置の認定やプロセスのモニタリングにおいて極めて重要な役割を果たします。これらはファブのウェーハ在庫の最大50％を占めています。テストウェーハのロットを手作業で管理するのは時間がかかり、ミスも発生しやすくなります。

テストウェーハセンター（TWC）は、テストウェーハロットのキッティングおよびデキッティング、ならびに保管を完全に自動化します。コンパクトで柔軟性の高いレイアウトにより、最大93個の保管ビンと最大14箇所のマテリアルハンドリング位置を確保でき、複雑な装置認定シナリオに最適なソリューションとなります。各テストウェーハロットのタイミングや内容を決定するための完全な（遠隔）制御が可能であり、プロセス装置へのジャストインタイムでの供給を実現します。

SECSホスト通信、カメラベースのロボット経路制御、オプションのウェーハ位置合わせ・識別機能、およびさまざまなキャリア識別オプションを備えたTWCは、安全かつ正確で、完全にトレーサビリティを確保した材料管理を実現します。

あらゆる自動材料搬送システム（コンベアまたは車両ベース）への接続に加え、手動によるキャリアの入出庫も可能であり、お客様のファブとの統合はシームレスかつ迅速に行えます。

現場での実績が証明された当社の移動型ロボット群「HERO」は、半導体業界におけるウェーハ、レチクル、キャリアの取り扱いおよび搬送、さらにはマイクロ・ナノエレクトロニクス分野の類似基板の取り扱いにも最適なソリューションです。これらのロボットは手作業を不要にし、ファブ内のマテリアルフローの最適化を支援します。

世界中の半導体ファブにおいて、自律走行、トラック走行、あるいはレール走行のいずれかの方式で移動するこれらのロボットは、クリーンルームにおける真の「ヒーロー」であり、適切な材料を適切なタイミングで確実に届けます。

当社の自動化ソリューションがお客様の製造環境にどのように適合し、ファブのパフォーマンスを向上させ、生産性と競争力の新たな基準を打ち立てるか、ぜひご検討ください。

HEROファミリー：

HERO Fab：200mmウェーハカセットまたは300mm FOUPの迅速な搬送と自動ハンドリングを行う無人搬送車（AGV）

HERO Scout：レチクルポッドの自動ハンドリングおよび搬送を行う自律移動ロボット（AMR）

HERO Rail：ウェーハカセットの搬送および自動ハンドリングを行うレールガイド式搬送車（RGV）

Fabmatics社のFOUPおよびSMIFポッド向け後付け可能なパージシステムは、中間保管中に不活性ガスでウェーハキャリアを継続的にパージし、プロセスステップ間のウェーハを汚染、酸化、および湿度による化学反応から確実に保護します。

世界中ですでに18,000台以上のFabmatics社製パージユニットが稼働しています。

主なメリット

ウェーハの欠陥と歩留まりの低下を低減

保管中の空気中分子汚染（AMC）および酸化を防止

生産の柔軟性を向上

汚染リスクなしに、プロセスステップ間の待機時間を延長可能

全体的な歩留まりを向上

非稼働の保管場所におけるウェーハの継続的な保護を通じて

運用コストの削減

長期使用を想定した、耐久性が高くメンテナンスの手間が少ないコンポーネントを採用

既存のインフラ投資を保護

Zero Footprint Storageなどの現行のFOUP/SMIFポッド保管システムにシームレスに後付け可能

クリーンルームの効率を最大化

追加の床面積を必要としないコンパクトな設計

プロセスの完全な可視化と制御を確保

インテリジェントなWebベースのモニタリングおよびオプションのHSMS統合により

マテリアルフローシミュレーションは、既存のシステム状況を分析・評価したり、自動化プロジェクトにおいて根拠に基づいた意思決定を行ったりするための強力なツールです。マテリアルフローシミュレーションを活用することで、半導体ファブの関連するすべての物流プロセスを、単一の包括的かつ動的なデジタルモデルに統合することができます。

このモデルに対する綿密な実験的分析により、既存の現実のシステムについて詳細な知見や包括的な結論を得ることができるほか、まだ存在しないシステムの潜在的な動態を予測することにも活用できます。これにより、当社の開発者やエンジニアはお客様と協力して、プロジェクトのリスクを最小限に抑え、システムに対する理解を深め、意思決定プロセスを効果的にサポートすることが可能になります。