現場での実績が証明された当社の移動型ロボット群「HERO」は、半導体業界におけるウェーハ、レチクル、キャリアの取り扱いおよび搬送、さらにはマイクロ・ナノエレクトロニクス分野の類似基板の取り扱いにも最適なソリューションです。これらのロボットは手作業を不要にし、ファブ内のマテリアルフローの最適化を支援します。

世界中の半導体ファブにおいて、自律走行、トラック走行、あるいはレール走行のいずれかの方式で移動するこれらのロボットは、クリーンルームにおける真の「ヒーロー」であり、適切な材料を適切なタイミングで確実に届けます。

当社の自動化ソリューションがお客様の製造環境にどのように適合し、ファブのパフォーマンスを向上させ、生産性と競争力の新たな基準を打ち立てるか、ぜひご検討ください。

HEROファミリー：

HERO Fab：200mmウェーハカセットまたは300mm FOUPの迅速な搬送と自動ハンドリングを行う無人搬送車（AGV）

HERO Scout：レチクルポッドの自動ハンドリングおよび搬送を行う自律移動ロボット（AMR）

HERO Rail：ウェーハカセットの搬送および自動ハンドリングを行うレールガイド式搬送車（RGV）