Fabmatics社のFOUPおよびSMIFポッド向け後付け可能なパージシステムは、中間保管中に不活性ガスでウェーハキャリアを継続的にパージし、プロセスステップ間のウェーハを汚染、酸化、および湿度による化学反応から確実に保護します。

世界中ですでに18,000台以上のFabmatics社製パージユニットが稼働しています。

主なメリット

ウェーハの欠陥と歩留まりの低下を低減

保管中の空気中分子汚染（AMC）および酸化を防止

生産の柔軟性を向上

汚染リスクなしに、プロセスステップ間の待機時間を延長可能

全体的な歩留まりを向上

非稼働の保管場所におけるウェーハの継続的な保護を通じて

運用コストの削減

長期使用を想定した、耐久性が高くメンテナンスの手間が少ないコンポーネントを採用

既存のインフラ投資を保護

Zero Footprint Storageなどの現行のFOUP/SMIFポッド保管システムにシームレスに後付け可能

クリーンルームの効率を最大化

追加の床面積を必要としないコンパクトな設計

プロセスの完全な可視化と制御を確保

インテリジェントなWebベースのモニタリングおよびオプションのHSMS統合により