SALIX は、スイッチングボックスに代わるソリューションとして開発されました。スイッチングボックス方式と比較した利点として、排気配管の小型化と簡素化、装置の設置面積の縮小、そしてプロセス変更に対する高い柔軟性が挙げられます。詳細については、 半導体業界のウェットベンチプロセスに関するケーススタディ をご参照ください。