STYRAXは、DASが提供する高性能製品シリーズで、大量生産が求められる製造環境に最適です。この製品群には、特にコンパクトな設置面積を実現したポイントオブユース型バーンウェット方式およびプラズマウェット方式のシステムが含まれています。

STYRAXは、CVD、酸化膜／ポリ／金属エッチング、エピタキシー、GaN、MOCVD、LED製造などのプロセスガスに対応するために開発されました。高効率かつ低環境負荷を特徴とし、CF₄に対して95%以上の破壊・除去効率（DRE）を達成します。さらに、H₂、SiH₄、TEOSなどのCVDガスに対する高い処理能力と包括的な安全対策により、STYRAXソリューションは環境・健康・設備を同時に保護します。STYRAX DUOは当社の標準モデルです。2つのスクラビングシステムが同時に稼働します。さらに、クローズドループ設計により、低水消費を実現しているのが特徴です。